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증착결과 보고서

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작성일 24-04-16 02:57

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⑩ 진공도를 이온게이지를 이용하여 수시로 확인해 주면서 기다린다.

④ Rotary Pump Switch를 ON으로 한다.

⑪ 이온게이지 상에 정도의 진공도를 확인하게 되면 셔터를 열어준다. 그리고 Leak Valve를 열어 공기를 주입한다.
⑬ 증착이 끝나면 서서히 전류를 차단하고 Main Valve를 잠근다.

⑨ Diffusion Pump를 켜준 후 따뜻해 질 때까지 (가열된 기름이 확산 될 때 까지) 기다리다가 따뜻해지면 그 때 Main Valve를 열어준다.
⑭ Diffusion Pump가 냉각되면 Forel…(To be continued )

2.實驗(실험) 결과

3.또 다른 증착 방법


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레포트/공학기술

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순서
증착결과 보고서




설명




증착결과 보고서
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다. ⑫ 텅스텐 보트에 전류를 흘려주어 증착이 처음 되게 한다.

②증착시키려는 소스를 철판 위에 작은 시약 스푼으로 한 스푼 올려놓는다.

⑤ Rough Valve를 풀어준다.

⑧ Foreline Valve를 풀어 완전히 열어준다.


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1.實驗(실험) 방법

① 모든 밸브가 잠겨있는지 확인한다.

⑦ Rough Valve를 잠그고, Foreline Valve를 연 후, Diffusion Pump를 ON으로 한다.

⑥ 진공의 정도를 까지 (Tube 안이 무색이 될 때) 확인한다.

③ 셔터를 닫은 상태에서 슬라이드를 끼운다.

다.
REPORT 11(sv76)


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